Высоковакуумный датчик давления на основе инверсно-магнетронной технологии
Высоковакуумный инверсно-магнетронный датчик давления Высоковакуумный инверсно-магнетронный датчик давления относится к устройствам мониторинга параметров вакуумных систем, ориентированным на регистрацию давлений на уровне 10^-6–10^-9 Торр. В основе решения лежит инверсная магнетронная конфигурация,…